Light modulator and method for its production

Lichtmodulator mit: einem Halbleitersubstrat (2) mit einer Ruckseitenoberflache, die mit einer Ruckseitenoberflachenelektrode (10) versehen ist; einem Mesaabschnitt (9) einer vorbestimmten Breite, welcher auf dem Halbleitersubstrat (2) gebildet ist, wobei der Mesaabschnitt (9) eine laminierte Schichtstruktur mit einer Lichtabsorptionsschicht (1) enthalt; einem Bondinselbildungsabschnitt (6), der auf dem Halbleitersubstrat (2) an einem Ort benachbart dem Mesaabschnitt (9) gebildet ist; einer Isolierungsschicht (40, 4), welche auf dem Halbleitersubstrat (2) gebildet ist, um den Mesaabschnitt (9) und den Bondinselbildungsabschnitt (6) kontinuierlich zu bedecken, wobei ein Teil der Isolierungsschicht (40, 4) unmittelbar uber dem Messabschnitt (9) eine darin definierte Offnung besitzt; und einer Elektrode (6a), die uber dem Bondinselbildungsabschnitt (6) gebildet ist und mit dem Mesaabschnitt (9) uber die Offnung elektrisch verbunden ist, wobei ein Teil (40) der Isolierungsschicht (40, 4) unmittelbar uber dem Bondinselbildungsabschnitt (6) eine Schichtdicke aufweist, die groser als diejenige des verbleibenden Teils (4) der Isolierungsschicht...