Ellipsométrie - Instrumentation et applications

Apres avoir etudie dans l'article [R 6 490] les principes de l'ellipsometrie et les techniques d'acquisition et de traitement du signal, nous allons dans cette partie decrire plus en detail l'instrumentation, dans le cas d'un ellipsometre a polariseur tournant, et presenter quelques developpements et extensions recents de cette technique telle que decrite dans le premier article. Nous dressons un panorama rapide des domaines d'application de l'ellipsometrie et terminons par un comparatif avec d'autres techniques d'analyse de surface.