Physical-quantity measuring method and controlling method of the object

この発明は、ブリルアン散乱減少を利用し、微細構造物上又は微細構造物中に存在する対象物の物理量を測定及び制御するための光センシング技術に関する。 当該測定方法は、マイクロ化学チップやＩＣチップなどの素子上又は素子中に一次元乃至三次元的に光導波路を用意し、この光導波路中で発生するブリルアン散乱光の特性変化に基づいて、対象物の物理量を測定する。