新型脉冲激光能量计用无铅（Na_（1-x）K_x）_（0.5）Bi_（0.5）TiO_3铁电薄膜的制备及其激光感生热电电压信号的研究

采用脉冲激光沉积（PLD）技术,分别在LaA lO3（LAO）、（La,Sr）（A l,Ta）O3（LAST）及SrTiO3（STO）三种不同的单晶衬底上制备了一系列无铅（Na1-xKx）0.5B i0.5TiO3（x=0.00,0.08,0.19,0.30,NKBT）铁电薄膜材料。利用X射线衍射（XRD）仪对薄膜结构进行了分析,结果表明在单晶平衬底上生长的薄膜都是单取向生长的外延膜,其中摇摆曲线的半高宽（FWHM）显示在（La,Sr）（A l,Ta）O3单晶衬底上生长的薄膜结晶质量最好。另外,在20°倾斜的（La,Sr）（A l,Ta）O3单晶衬底上生长的（Na1-xKx）0.5B i0.5TiO3铁电薄膜中还首次观察到了激光感生热电电压（LITV）信号。发现在能量为0.48mJ/pulse的紫外脉冲激光辐照下,其最大激光感生热电电压为31mV,完全满足了制作脉冲激光能量计探测元件的要求,有望开发出可集成的新型脉冲激光能量计。