DC power supply device for generating plasma

Ein DC Energieversorgungsgerat zum Zufuhren einer DC Energie zu einer Plama-Erzeugungseinrichtung (4) enthalt einen Eingabeabschnitt zum Umsetzen einer eingegebenen AC Energie in eine DC Energie; einen Wechselrichter vom Stromtyp (13), der mit einer nachsten Stufe des Eingabeabschnitts verbunden ist; einen Transformator (14) mit einer Primarwicklung (14a) und einer Sekundarwicklung (14b), wobei die Primarwicklung mit dem Wechselrichter vom Stromtyp verbunden ist; einen Gleichrichterabschnitt (15) zum Gleichrichten einer in der Sekundarwicklung des Transformators erzeugten AC Energie; und eine Glattungsschaltung (C F2 ) zum Glatten der gleichgerichteten Energie, die durch den Gleichrichterabschnitt gleichgerichtet wird; wobei eine der Plasma-Erzeugungseinrichtung (4) zuzufuhrende elektrische Energie durch Steuern eines Schaltbetriebs des Wechselrichters vom Stromtyp als Stromquelle gesteuert wird.