박막 형성 방법

본 발명은 복수의 적층 유기막을 단일의 공정에서 형성할 수 있도록 하기 위한 것으로, 제1증착영역으로 제1증착물질을 방출하는 제1증착원과, 제2증착영역으로 제2증착물질을 방출하는 제2증착원을 준비하는 단계와, 상기 제1증착영역과 제2증착영역이 서로 중첩하는 제1중첩 영역이 설정되도록 제1증착원과 제2증착원을 조정하는 단계와, 상기 제1증착원과 제2증착원을 가동해 상기 제1증착물질 및 제2증착물질을 피처리체의 일부에 증착하는 단계와, 상기 제1증착원 및 제2증착원을 피처리체의 일단으로부터 타단까지 이동시키되, 상기 피처리체의 일단으로부터 상기 제1증착영역, 제1중첩영역 및 제2증착영역이 순차로 진행되도록 하는 단계를 포함하고, 상기 제1증착물질과 제2증착물질은 서로 다른 박막 형성 방법에 관한 것이다.