Procédé de fabrication d'un système de couches contenant du carbone et dispositif permettant la mise en oeuvre dudit procédé
2011
Procede de fabrication d'un systeme de couches contenant du carbone, en particulier pour augmenter la resistance a l'usure de pieces, et dispositif permettant la mise en oeuvre dudit procede. Selon ce procede, une couche de diamant (20) est d'abord deposee par plasma, et immediatement apres, une couche amorphe contenant du carbone (21) est deposee, ce qui entraine la formation d'une couche de transition (22). Les couches sont deposees les unes apres les autres, sans interruption du vide et du plasma continu ou pulse necessaire pour le depot de couche, entre deux depots de couche. La combinaison des deux couches en liaison avec la technique de depot utilisee permet la fabrication de systemes de couches qui conferent aux pieces une forte resistance a l'usure.
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