망간 아미노아미드 아미드 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
2016
본 발명은 열적 안정성과 휘발성이 개선된 신규한 망간 전구체에 관한 것으로, 상기 망간 전구체를 이용하여 낮은 온도에서 우수한 성장 속도로, 쉽게 양질의 망간 함유 박막을 제조하는 방법 및 이를 통해 제조된 박막을 제공할 수 있다.
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