Systeme de laser a decharge gazeuse a quatre khz

La presente invention concerne un laser a excimeres capable de produire un faisceau laser a impulsions de haute qualite a des taux d'impulsion d'environ 4'000 Hz et a des energies d'impulsion superieures ou egales a 5 mJ environ. Un mode de realisation prefere de l'invention concerne un laser a excimeres au fluorure d'argon concu specialement sous forme de source de lumiere pour la lithographie de circuits integres. Un ondemetre ameliore (4K) equipe d'un logiciel special permet de controler des parametres de sortie du faisceau et de commander un miroir de reglage a entrainement piezo-electrique tres rapide qui est dans un module de retrecissement de ligne (15K), ainsi que la tension de charge de la puissance d'impulsion, afin de maintenir la longueur d'onde et l'energie d'impulsion dans les limites souhaitees. Dans un mode de realisation prefere, deux moteurs de ventilateur (16K, 17K) entrainent un seul ventilateur tangentiel fournissant un courant gazeux suffisant pour eliminer les debris de decharge de la region de decharge pendant les 0,25 millisecondes environ qui separent chaque impulsion.