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ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測(第2報):―種々の原料ガスを用いてバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜―
ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測(第2報):―種々の原料ガスを用いてバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜―
2017
gou sai
takayuki hibi
akihisa furuno
masahiro kawaguti
takahisa katou
Keywords:
Materials science
Microstructure
Analytical chemistry
Raman spectroscopy
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