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Acemap > Paper > リング形状MEMS共振器のための熱弾性散逸を用いた品質因子トリミング法【JST・京大機械翻訳】

リング形状MEMS共振器のための熱弾性散逸を用いた品質因子トリミング法【JST・京大機械翻訳】

2020 
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