IDT/AlN/LiNbO_3结构声表面波滤波器模拟和分析

研究了IDT／AIN／LiNbO。结构声表面波滤波器的频散特性，发现了高机电耦合系数（〉18％），高声速（〉10km／s）的纵向假声表面波模式。对研究得到的二次模进行了归一化插入损耗频率响应的模拟，其结果与文献报道的实验结果基本一致。