Emissionszeitsteuereinrichtung für einen gepulsten Laser

Emissionszeitsteuereinrichtung fur einen gepulsten Laser mit: Einer magnetischen Pulskompressionsschaltung mit einer mehrstufigen Ladungsubertragungsschaltung mit mehreren in Serie an eine Ladestromquelle geschalteten Magnetschaltern und mehreren parallel an eine Ladestromquelle geschalteten Kondensatoren zur Kompression von Strompulsen in mehreren Stufen unter Verwendung der mehrstufigen Ladungsubertragungsschaltung; einer Schalteinrichtung zur Durchfuhrung eines Schaltvorgangs zum Zu- und Abschalten der Ladestromquelle auf eine bzw. von einer magnetischen Pulskompressionsschaltung; einer Laserentladeelektrode, die an eine Ausgangsklemme der magnetischen Pulskompressionsschaltung angeschlossen ist; und einer Steuereinrichtung zur Ubermittlung eines Spannungsbefehlswertes an die Ladestromquelle, wobei der gepulste Laser eine gepulste Laseroszillation bei einer vorbestimmten Wiederholfrequenz durch Einschalten der Schalteinrichtung mittels eines Triggersignals durchfuhrt, und dieser ein Pulsoszillations-Synchronisierungssignal mit der vorbestimmten Wiederholfrequenz von einer Halbleiterbelichtungseinrichtung ist, wobei die Emissionszeitsteuereinrichtung aufweist: DOLLAR A eine Referenzverzogerungszeit-Einstelleinrichtung (21) zum Einstellen einer vorbestimmten Referenzverzogerungszeit im voraus, wobei die vorbestimmte Referenzverzogerungszeit groser ist als ein Hochstwert eines variablen Bereiches einer Emissionsverzogerungsechtzeit ab Einschalten der Schalteinrichtung bis zum ...