用于超薄反射镜热成形的Pt、Pt/Cr分离膜

针对热弯玻璃成形法制备高精度超薄反射镜时Pt分离膜造成的镜片污染问题，研究了Pt／Cr分离膜中不同Cr层厚度对热成形超薄反射镜玻璃基底表面粗糙度的影响．采用厚度为0．3mm的SchottD263玻璃作为超薄反射镜基底材料，选取Pt、Pt／Cr作为模具和D263镜片之间的分离层材料进行实验．Pt薄膜的厚度为50nm，Cr层厚度分别为5nm、3．5nm、2．5nm、1．5nm，热成形实验采用“直接”复制方式．实验结果表明：cr层厚度为1．5nm时，成形后模具表面分离膜未发生脱落，镜片表面粗糙度约为0．5nm，与D263镜片初始值接近，能够满足高能X射线望远镜对反射镜基底表面粗糙度的要求．