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Acemap > Paper > ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波CH 4 プラズマにおける基板への入射炭素フラックスに関する数値解析

ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波CH 4 プラズマにおける基板への入射炭素フラックスに関する数値解析

2014 
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