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Batch ALD 공정에서 Multi-Hole Nozzle 의 Brokage 방지를 위한 구조 최적화
Batch ALD 공정에서 Multi-Hole Nozzle 의 Brokage 방지를 위한 구조 최적화
2014
전우주
박환욱
김영완
Keywords:
Nozzle
Materials science
Composite material
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