Immersion exposure system, a recycling method of immersion exposure liquid and supply method

投影光学手段１２１の光学素子と基板１１１との間に満たされた液体３０１を介して露光を行う液浸型露光システム１である。 この液浸型露光システム１は、液体３０１の供給をする液体供給部８０と、その液体供給部８０から供給をされた液体３０１（３０１ｂ）が所定方向に沿って連続的に導入をされ投影光学手段１２１の光学素子と基板１１１との間を液体３０１で満たしながら露光を行う露光処理部１１０と、その露光処理部１１０の基板１１１を挟んだ対称の位置において排出をされた液体３０１（３０１ａ）の回収をする液体回収部９０と、液体回収部９０で回収をされた液体３０１（３０１ｃ）の再生をする液体リサイクル部２０と、を有する。 液浸法を適用した場合に、液浸型露光用液体の性質を安定させることが出来、良好な露光を継続的に行うことが可能であり、且つランニングコストを抑えることが出来る。