Ａｏｔｆを備えたレ―ザ―走査式顕微鏡

(57)【要約】 【課題】レーザー走査式顕微鏡の設置条件が不確定で一 定でない場合でも、必要とされるすべての紫外線波長領 域と可視スペクトル領域に対してレーザーの性能の安定 性を保証すること 【解決手段】レーザーを結合する光路内に備えた音響光 学式温度センサー（ＡＯＴＦ）の周辺、またはその近 傍、あるいはこれと結合して１つの温度センサーが備 え、その音響光学式温度センサー自体、および／または その周囲が、加熱あるいは冷却されるようにした