薄膜積層シートの形成方法、及び、薄膜積層シートの形成装置

【課題】反応性スパッタ法による無機化合物膜の形成に際して成膜対象であるシートの昇温が抑えられる薄膜積層シートの形成方法、及び、薄膜積層シートの形成装置を提供する。 【解決手段】薄膜積層シートの形成方法は、シリコンが含まれるターゲット部材を備える真空槽にシートＳを搬入すること、シリコンと反応する酸素ガスを真空槽に供給することを備える。また、薄膜積層シートの形成方法は、ターゲット部材に電力を供給して酸素ガスが含まれるプラズマのなかでターゲット部材をスパッタすることにより、シートＳにシリコン酸化膜を形成することを備える。薄膜積層シートの形成方法では、ターゲット部材の電圧が遷移モード領域に含まれる。 【選択図】図１