固体撮像装置、撮像装置、および固体撮像装置の製造方法

2009 
【課題】光電変換素子の面積の低下を最小限に抑制しながら、高機能化を図る。 【解決手段】固体撮像装置1は、半導体基板11と、半導体基板11に形成される複数の画素回路22とを有する。半導体基板11に形成される画素回路22は、光電変換素子25と、光電変換素子25と隣り合って形成される第1埋め込みゲート電極51と、光電変換素子25および第1埋め込みゲート電極51から離間して形成される第2埋め込みゲート電極56と、第1埋め込みゲート電極51と第2埋め込みゲート電極56との間に形成される第1拡散層55と、第1埋め込みゲート電極51と第2埋め込みゲート電極56との間において、第1拡散層55と離間した状態で重ねて形成される第2拡散層60とを有する。光電変換素子25に蓄積された電荷は、第1拡散層55を通じて第2拡散層60へ転送される。 【選択図】図5
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