Method for protecting a substrate treatment system from overheating

Verfahren zum Schutz einer beheizten Substratbehandlungsanlage (8) vor Uberhitzung, wobei die Substratbehandlungsanlage (8) aus mehreren Anlagenbereichen (1, 7) besteht, in denen sich jeweils eine Behandlungskammer (2) befindet, an der mit einer Heizersteuerung (6) verbundene Heizer (3) angeordnet sind, welche an der Beheizung der Behandlungskammer (2) teilhaben, wobei eine Schutzvorrichtung mit wenigstens einem eine Abschaltung der Heizer (3) bei Uberhitzung bewirkenden Temperaturschalter (9), bestehend aus einem Temperatursensor (4) und einer Auswerteeinheit (5), vorgesehen ist, dessen Temperatursensor (4) in der zu uberwachenden Behandlungskammer (2) befestigt wird, wobei unabhangig von der Regel- und Steuerung der Substratbehandlungsanlage (8), eine reprasentative Kammertemperatur in der Behandlungskammer (2) durch den Temperatursensor (4) ermittelt wird und die Heizer (3) bei Uberschreiten einer kritischen Temperatur abgeschaltet werden, wobei der Schaltpunkt der Auswerteein heit (5) durch einen Schwellwert bestimmt wird, welcher uber der typischen Arbeitstemperatur der Heizer (3) und unterhalb einer fur den jeweiligen Anlagebereich (1) oder Behandlungskammer (2) kritischen Temperatur liegt, und bei Uberschreitung des Schwellwerts die Heizer (3) abgeschaltet werden und nach Unterschreitung des Schwellwerts die Heizer (3) automatisch wieder freigegeben werden.