超声辅助磨削后纳米ZrO 2 陶瓷的表面残余应力

在自行研制的二维超声辅助磨削系统下对纳米ZrO2陶瓷进行了磨削加工, 采用X射线衍射仪对其表面残余应力进行了测试, 研究了磨削参数对其残余应力的影响, 并与普通磨削后的表面残余应力进行了比较。结果表明: 两种磨削方式下表面残余应力皆为压应力, 且随着磨削深度的增大, 两种磨削方式下表面残余应力均呈现出减小趋势, 但超声辅助磨削后表面残余压应力的减小趋势较普通的缓慢; 相同条件下, 超声辅助磨削后表面残余压应力大于普通磨削的; 其他参数不变, 随着砂轮磨料尺寸的增大,两种磨削方式的表面残余压应力都呈上升趋势。