ナノインプリント方法、パターン形成体、及びナノインプリント装置

【課題】本発明は、離型時の樹脂の破損を抑え、欠陥の少ないナノインプリント方法等を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明に係るナノインプリント方法は基材上に電子線硬化性樹脂からなる樹脂層を形成し、前記樹脂層に凹凸パターンを有するモールドを接触させ、少なくとも前記基材側または前記モールド側のいずれか一方から電子線を照射して前記樹脂層を硬化させ、前記樹脂層と前記モールドとを引き離すことを特徴とする。 【選択図】 図３