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나노 다이아몬드 혼합 슬러리를 사용한 사파이어 웨이퍼의 연마특성 평가
나노 다이아몬드 혼합 슬러리를 사용한 사파이어 웨이퍼의 연마특성 평가
2014
허지인
이현우
박희섭
김미선
Keywords:
Composite material
Chemical-mechanical planarization
Materials science
sapphire wafer
Optoelectronics
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