Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション (第1報,Cu埋め込み形状の再現):第1報, Cu埋め込み形状の再現
モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション (第1報,Cu埋め込み形状の再現):第1報, Cu埋め込み形状の再現
2004
osamu yamazaki
sigeyuki takagi
katu i yanagi
kazuya kinosita
kouiti mase
kazuyuki yahiro
ken'iti nanbu
Keywords:
Plasma
Computational physics
Computational chemistry
Numerical analysis
Monte Carlo method
Chemistry
Atomic physics
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]