Development of capacitive type humidity sensor with high acruacy using humidity sensitive polymers III. The optimization of manufacturing conditions of a capacitive type humidity sensor using cellulose acetate butyrate as humidity sensitive material.

1989 
高精度 (±1%RH) な容量型湿度センサを開発するため, 酢酪酸セルロース (CAB) を用い高分子感湿材料の探索を行った. エステル化度やアセチル・ブチリル含量の他, 可塑剤の添加量やアニール条件などの感湿特性に及ぼす影響を検討した. この結果, CABを感湿材料とする容量型湿度センサにおいて, その製作条件を最適化すると, 測定精度±1%RHの高精度化を達成できることを確かめた.
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