Couche de protection, et procede et dispositif pour la realisation de couches de protection
2003
L'invention concerne une couche de protection resistant aux rayures et aux variations de temperature, en particulier une couche de protection contre les rayures pour champs de cuisson, ainsi qu'un procede et un dispositif de realisation de telles couches de protection. La couche de protection selon l'invention contient au moins une couche de matiere dure qui comprend elle-meme une couche fonctionnelle constituee d'un oxyde metallique et/ou d'un nitrure metallique et/ou d'un carbure metallique et/ou d'un oxonitrure metallique et/ou d'un carbonitrure metallique et/ou d'un oxocarbonitrure metallique, de preference d'oxyde d'yttrium-zircon. Cette couche fonctionnelle est interrompue par des couches intermediaires tres minces, de preference en oxyde de silicium, en nitrure de silicium ou en oxyde de titane-aluminium, de sorte qu'elle presente une structure en colonne morphologiquement dense, qui s'est developpee sensiblement verticalement par rapport a la surface du corps. On peut realiser de telles couches de facon economique en particulier selon un procede de pulverisation magnetron et a l'aide d'un dispositif correspondant, l'interruption ciblee du developpement des couches fonctionnelles reduisant la tendance des structures en colonne a s'elargir.
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