Dispositif pour la commande de la température de substrats

L'invention concerne un dispositif de commande de la temperature de substrats dans une installation de traitement de substrats, dans laquelle un substrat (1) se deplace d'une position a une autre, dans le sens longitudinal (2) de l'installation de traitement de substrats, dans un plan de transport de substrats (3), a l'interieur d'une chambre a vide, sur un dispositif de traitement (7). L'invention a pour but de configurer dynamiquement une variation thermique de l'isolation thermique pour la commande de la transmission de chaleur dans le substrat (1), et de reduire en meme temps les inerties thermiques. Ce but est atteint conformement a l'invention, laquelle est caracterisee en ce qu'il est prevu, sur une face du plan de transport de substrats (3), un refrigerant (9) absorbant de la chaleur et en ce que, dans un mode de realisation, un moyen d'isolation (10) sert a isoler ledit refrigerant, au moins partiellement, par rapport au plan de transport de substrats (3).