Kontakthöcker mit profilierter Oberflächenstruktur sowie Verfahren zur Herstellung

2001 
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Kontakthocker sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung. Der erfindungsgemase Kontakthocker wird mit einem Schichtabscheideverfahren hergestellt und setzt sich aus einem Grundkorper mit einer darauf aufgebrachten Profilstruktur zusammen. Die Profilstruktur weist ein oder mehrere Erhebungen auf und wird beispielsweise mit einem vom Aufbringen des Sockels getrennten Schritt der Schichtabscheidung mit Hilfe einer Resistmaske erzeugt. DOLLAR A Durch die auf dem Sockel erzeugten Erhebungen wird eine verbesserte Haftung der spateren Kontaktverbindung erreicht. Weiterhin lassen sich mit diesen Erhebungen eventuelle Oxidschichten auf der zu kontaktierenden Anschlussflache bei der Kontaktierung durchstosen.
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