Bio-ChiP—Mask优化设计计算案例

站在微电子领域,审视生物芯片中的可行性研究课题,光诱导原位合成掩膜版的优化设计是一个很值得重视的研究方向.早期使用贪婪算法,但这种算法运算时间长且成本较高,本文提出的矩形分割算法既可减少运算时间又能降低成本,大约优化28%的掩膜版数量.