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CMOSプラットホーム上に同時に実現された格子不整合S/Dストレッサを特徴とする性能向上方式:Sn + 注入によるpFETのためのe-SiGeSn S/DおよびC + 注入によるnFETのためのSiC S/D
CMOSプラットホーム上に同時に実現された格子不整合S/Dストレッサを特徴とする性能向上方式:Sn + 注入によるpFETのためのe-SiGeSn S/DおよびC + 注入によるnFETのためのSiC S/D
2008
Wang Grace Huiqi
Toh Eng-Huat
Wang Xincai
Seng Debbie Hwee Leng
Tripathy Sudhinrajan
Osipowicz Thomas
Chan Tau Kuei
Samudra Ganesh
Yeo Yee-Chia
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