Procédé de dépôt de nanoparticules métalliques par dépôt physique en phase vapeur
2008
La presente Invention est relative a un procede de depot de nanoparticules metalliques par depot physique en phase vapeur a la surface d'un substrat pouvant etre sensible thermiquement, a une pression de l'ordre de quelques dizaines de Pascals, ainsi qu'aux substrats obtenus en mettant en oeuvre ce procede et a leurs applications.
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