接合方法、接合構造、接合装置、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置

【課題】 接合のコストを低減しつつ、接合の信頼性を向上することができる接合方法、接合構造および接合装置を提供すること、また、信頼性の高い液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出装置を提供すること。 【解決手段】 接合装置４００は、レーザ発生装置４０１と、レーザ発生装置４０１からのレーザ光を集光レンズ４０３に向けて反射するガルバノミラー４０２と、該ガルバノミラー４０２に対向して配された集光レンズ４０３とを備え、接合構造４０４の端部近傍に配された積層構造４０５に照射されるレーザ光のエネルギが、接合構造４０４の中央部に配された積層構造４０５に照射されるレーザ光のエネルギよりも大きいエネルギ分布を呈するレーザ光を接合構造４０４に照射して、リード電極９０および外部配線１１１の間に介在する接続用金属１２０を溶融して、電極部３１０および外部配線ケーブル１１０を接合する。 【選択図】 図４