Ar-CdCl_2热处理和稀土Nd掺杂对CdS／CdTe复合薄膜结构及其光学性能的影响

在TCO玻璃衬底上依次采用化学水浴法和真空热蒸发工艺沉积CdS、CdTe薄膜，并在不同条件下进行热处理，制备了GdS／CdTe异质结复合薄膜。通过X射线衍射、扫描电镜，紫外-可见（U-V）透射光谱研究了不同温度下稀土Nd掺杂以及Ar-CdCl_2热处理对薄膜结构、形貌和光学性能的影响。结果表明：不同条件下制备的薄膜均具有（111）晶面择优取向；样品表面形貌在不同条件下热处理后存在剧烈的差异，随着热处理温度的升高，薄膜晶粒增大；掺入Nd并在Ar-CaCl_2氛围下热处理后，薄膜致密且粒径均匀，粒径明显增大，其（111）晶面的择优取向进一步增强。U-V透射光谱分析表明，Ar气氛下热处理对改善薄膜的光吸收作用并不明显，但掺Nd和在Ar-CaCl_2氛围下热处理均可明显增强薄膜的光吸收性能，这对于提高太阳电池的光谱响应是非常有利的。