Nettoyage apres gravure d'un dielectrique associe au cuivre

Pour eliminer les residus apres gravure d'un dielectrique associe au cuivre, on utilise une composition de nettoyage constituee, en poids, de 35 a 85 % de dimethylsulfoxyde ou de N-methylpyrrolidone, de 11 a 49 % de 3-methoxypropylamine, de 0 a 8 % d'eau, et de 0 a 10 % d'au moins un inhibiteur de corrosion comme le catechol.