フィールド強化型誘導結合プラズマ（ｆｅ−ｉｃｐ）リアクタ

フィールド強化型誘導結合プラズマリアクタ及びその利用法の実施形態が、本明細書に提供される。いくつかの実施形態では、フィールド強化型誘導結合プラズマ処理システムは、誘電性の蓋及び誘電性の蓋の上方に配置されるプラズマ源アセンブリを有するプロセスチャンバを含んでもよい。プラズマ源アセンブリは、プロセスチャンバ内にプラズマを形成して維持するためのＲＦ電力をプロセスチャンバ内に誘導結合するために構成される１以上のコイルと、プロセスチャンバ内にプラズマを形成するためのＲＦ電力をプロセスチャンバ内に容量結合するために構成され、１以上のコイルのうちの１つに電気的に結合される１以上の電極と、１以上の誘導コイル及び１以上の電極に結合されるＲＦジェネレータとを含む。いくつかの実施形態では、ヒーター要素は誘電性の蓋とプラズマ源アセンブリの間に配置されてもよい。