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TiN 증착을 위한 MOCVD 공정 중 열분해에 따른 Precursor 진단 및 오염입자 발생에 관한 연구
TiN 증착을 위한 MOCVD 공정 중 열분해에 따른 Precursor 진단 및 오염입자 발생에 관한 연구
2008
Jeong-Gil Na
Tae-Seong Kim
Jae-Bung Choe
Yeong Jin Kim
Ju-Yeong Yun
Sang-U Gang
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