Mems and methods of forming nanostructures

本发明涉及一种形成MEMS纳米结构的方法，该方法包括：将部分衬底凹进，从而在该衬底内形成多个台面。 多个台面中的每个台面均具有顶面和侧壁面。 在该衬底之上方沉积反光层，从而覆盖每个台面的顶面和侧壁面。 在反光层之上形成保护层。 在保护层之上形成ARC层。 光刻胶层中的开口形成在每个台面上的ARC层之上。 通过该开口去除部分ARC层、保护层和反光层，从而暴露出每个台面的顶面。 去除每个台面的顶面之上的光刻胶层和ARC层。 本发明还提供了一种MEMS纳米结构及其形成方法。