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純粋なメタンとシランの混合体から作製したSi:C:H合金ホットワイヤ蒸着膜におけるミクロ結晶相の形成
純粋なメタンとシランの混合体から作製したSi:C:H合金ホットワイヤ蒸着膜におけるミクロ結晶相の形成
1998
Kumbhar A A
Dusane R O
Bauer. S.
Schroeder B
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