Etude de la thermodiffusion binaire dans un réacteur CVD à paroi froide

Les effets de convection naturelle dans les reacteurs CVD a paroi froide induisent de forts gradients thermiques pres du substrat chaud. Par consequent, il peut exister au sein de la phase gazeuse un effet de thermodiffusion (effet Soret) d'autant important que les masses molaires des especes presentes sont differentes. Un modele mathematique fonde sur la resolution des equations de Navier-Stokes couplees aux equations de transfert de chaleur et de masse a ete mis au point pour mettre en evidence et evaluer l'importance de la thermodiffusion dans le reacteur. L'etude est realisee en considerant un melange equimolaire d'argon et d'helium dans un reacteur cylindrique vertical de 350 mm de diametre. Le modele decrit l'ecoulement et les champs de temperature et de concentration dans le reacteur. On presente egalement une etude experimentale realisee par spectrometrie de masse pour determiner la composition locale du meme melange. Le faible ecart entre les profils de fractions molaires calculees et mesurees pres de substrat justifie la validite de la simulation numerique.