Système graveur en biseau intégré à un sas de chargement

Selon des modes de realisation decrits par les presentes, l'invention concerne un appareil de gravure en biseau a l'interieur d'une chambre de gravure en biseau a sas de chargement, et ses procedes d'utilisation. L'appareil de gravure en biseau comprend un ensemble masque a l'interieur de la chambre de gravure en biseau a sas de chargement. Pendant un processus de gravure, l'ensemble masque fournit un ecoulement gazeux pour commander la gravure en biseau sans utiliser de cadre perfore. De ce fait, l'exclusion de bord au niveau du bord biseaute peut etre reduite, ce qui permet d'augmenter le rendement du produit.