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3P1-26 高周波スパッタリング法による高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製と評価(ポスターセッション)
3P1-26 高周波スパッタリング法による高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製と評価(ポスターセッション)
2009
tuyosi mitui
akira kyou tutiya
syouzi kaki o
yasuhiko nakagawa
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