chevauchement variable de formes factices pour une uniformité de recuit thermique rapide améliorée

L'invention concerne des modes de realisation produisant un procede, une structure, un service, entre autres, pour le chevauchement variable de formes factices pour une uniformite de recuit thermique rapide amelioree. Un procede de production de temperatures uniformes sur une region limitee d'une tranche pendant un processus de recuit thermique rapide comprend la determination (400) d'une premiere reflectivite dans une premiere partie de la region limitee en mesurant une densite de premieres structures dans la premiere partie. Puis, le procede determine (410) une seconde reflectivite dans une seconde partie de la region limitee en mesurant une densite de secondes structures dans la seconde partie. En particulier, les premieres structures comprennent des formes de remplissage de diffusion (105) et des formes de remplissage de conducteur de polysilicium (115) (structures factices non actives) ; et les secondes structures comprennent des structures de circuit actives.