基板保持機構、基板受渡機構、及び基板処理装置

基板の確実な保持及び受け渡しを行うことのできる基板保持機構を提供する。 矩形基板（Ｗ）を保持するための基板保持部を備えた基板保持機構であって、基板（Ｗ）の対向する２辺に対応した基板保持部上の位置に配設され、該基板保持部に回動可能に軸支された複数の基板保持ローラ（１２０）と、該基板保持ローラ（１２０）を回転駆動するローラ駆動手段とを備え、前記基板保持ローラ（１２０）が、円筒部（１２１）とその両端面の外周の一部に設けられた保持フランジ（１２３ａ，ｂ）とを有し、前記ローラ駆動手段によって各基板保持ローラ（１２０）を回動させることにより、その回動角度に応じて前記保持フランジ（１２３ａ，ｂ）による基板（Ｗ）の端縁の保持及び保持解除を切り換え可能な構成とする。