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액상 Cu(II) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
액상 Cu(II) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
2008
Sang-U Gang
Ju-Yeong Yun
Yong-Hyeon Sin
Jeong-Gil Na
Jae-Bong Choe
Tae-Seong Kim
Gyeong-Cheon Seo
Jae-Su Sin
Il-Du Yang
Jae-Yong Sim
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