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Reagenzzusammensetzung und verfahren zur bildung von metallschichten auf substraten mittels chemischer gasphasenabscheidung
Reagenzzusammensetzung und verfahren zur bildung von metallschichten auf substraten mittels chemischer gasphasenabscheidung
2001
Thomas H. Baum
Robin A. Gardiner
Timothy E. Glassman
Douglas Gordon
Peter S. Kirlin
Sofia Pombrik
Brian A. Vaartstra
Keywords:
Polymer science
Chemistry
Bildung
Stereochemistry
Materials science
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