Analysis and Determination of Refractive Index Profiles of O^2＋ Ion-Implanted LiNbO3 Planar Waveguide Using Etching and Ellipsometry Techniques

3 兆电子伏 O-2 的折射索引侧面，在锂 niobate 的植入离子的平面波导基于蚀刻和 ellipsometry 技术被重建。SRIM2003 代码被用来在波导模仿损坏分发。这个索引这种波导介绍，这被表明，延长到深入地的几微米，能被与后面的 ellipsometric 大小在联合蚀刻决定。好同意基于试验性的数据在波导和索引侧面在模仿的损坏分布之间被发现的 A，和折射索引障碍的宽度比 SRIM2003 的结果宽。