Sicher zündende, langzeitstabile Kaltkathode

Kaltkathoden werden seit Jahrzenten in verschiedenen Bereichen der Vakuumtechnik verwendet, wo ihre Vorteile trotz magnetischer Streufelder, schlechter Zundcharakteristik im UHV-Bereich und Langzeitstabilitat nicht kritisch oder im Rahmen haufiger Wartungsintervalle praktikabel sind. Selbst dann ist aber oft das Erloschen der Kaltkathodenentladung im UHV bzw. XHV-Bereich ein Thema fur die Experten. In diesem Artikel wird unter Berucksichtigung der zugrunde liegenden Prozesse und deren Korrelation eine optimierte Kaltkathode vorgestellt. Experimentelle Ergebnisse belegen, dass diese, bei gleichzeitiger Reduzierung des magnetischen Streufeldes auf 1 mT in unmittelbarer Nahe des Vakuummeters, die Bestimmung des Druckes im 10−12 mbar Bereich ermoglicht. Weiterhin konnten die Zundzeiten auf < 60 s bei 1×10−9 mbar reduziert und die Langzeitstabilitat des Sensors erheblich verbessert werden. Long term stable cold cathode with reliable ignition Cold cathodes gauges have been used in various areas of vacuum technology for decades. Their unique properties make them the method of choice even despite the residual magnetic field, poor ignition characteristics in the UHV-region and long term stability. In other applications they do not significantly shorten the maintenance intervals. However, especially in the UHV or XHV region these properties lead to an extinguishing of cold cathode discharge. Considering the underlying processes and their correlation in this contribution an improved cold cathode will be presented. The measured data show a residual magnetic field of 1 mT in close vicinity to the gauge and an extended operating pressure range down to the 10−12 mbar region. Furthermore the ignition characteristics were improved to < 60 s at 1×10−9 mbar.