Disque a polir muni d'un port de detection de point d'extremite

2002 
L'invention concerne un disque (10) a polir qui comprend: a) un corps presentant une surface frontale (11), une surface arriere (12), et une surface peripherique (13); b) une surface a polir; c) un port (15) de detection de point d'extremite qui traverse le corps de la surface frontale a la surface arriere; et d) un canal (16) de drainage communiquant librement avec le port (15) de detection de point d'extremite. L'invention concerne en outre un procede de preparation dudit disque a polir, et une methode de polissage d'un substrat avec ledit disque a polir.
    • Correction
    • Source
    • Cite
    • Save
    • Machine Reading By IdeaReader
    0
    References
    0
    Citations
    NaN
    KQI
    []