Disque a polir muni d'un port de detection de point d'extremite
2002
L'invention concerne un disque (10) a polir qui comprend: a) un corps presentant une surface frontale (11), une surface arriere (12), et une surface peripherique (13); b) une surface a polir; c) un port (15) de detection de point d'extremite qui traverse le corps de la surface frontale a la surface arriere; et d) un canal (16) de drainage communiquant librement avec le port (15) de detection de point d'extremite. L'invention concerne en outre un procede de preparation dudit disque a polir, et une methode de polissage d'un substrat avec ledit disque a polir.
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