Détermination des contraintes résiduelles et des constantes d'élasticité dans les films minces par diffraction des rayons X

La comprehension des phenomenes physiques intervenant dans les couches minces supportees repose sur une caracterisation conjointe de la microstructure et de l'etat mecanique des films elabores, La diffraction des rayons X est une technique de choix pour mener de front ces deux aspects dans le cas de materiaux cristallins. Son couplage avec un dispositif de deformation in-situ permet en outre d'etudier l'elasticite de chacune des phases cristallines presentes dans un film mince en multicouches.